著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,原子層単位で制御される物質合成<特集>,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,1993-02,36,2,p67-99,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980705052969856,