著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
湯之上 隆,半導体業界 日本半導体/製造装置メーカーの共進化/共退化現象(2)露光装置シャアトップのASML その強さの源泉は速度と稼働率,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2009-08,,185,42-45,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980705292553600,