Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
増田 淳 and 松村 英樹 and 南川 俊治,低温触媒CVD装置の開発,化學工業,04512014,東京 : 小峰工業出版,2003-08,54,8,631-635,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980705472124928,