著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 大森 整 and 上原 嘉宏 and 山形 豊,マイクロメカニカルファブリケーションにおけるELID法の適用とファブリケーションツールの開発,機械と工具 : 生産加工技術を支える,03871053,東京 : 日本工業出版,2001-05,45,5,10-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980705665656064,