著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 高橋 明人,プレッシャーインセンシティブ対応マスフローモジュール--SEC-Z700シリーズ,Readout : Horiba technical reports,09159916,京都 : 堀場製作所,2010-05,,36,14-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980705739673984,