著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Ronald Chiarello and 石田 哲嗣,薬液濃度管理とCoO低減,Semiconductor international. 日本版,13496425,東京 : リード・ビジネス・インフォメーション,2008-10,5,10,30-35,https://cir.nii.ac.jp/crid/1521980706041696512,