Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
吉武 秀介 and 斉藤 匡人,電子ビームマスク描画装置EBM-8000,東芝レビュー = Toshiba review,03720462,東京 : 東芝技術企画部,2012-04,67,4,20-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262178385749632,