著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
馬場 恒明,イオンビームアシスト蒸着法による窒化ケイ素薄膜の作製とその特性,ニューセラミックス,09164057,京都 : ティー・アイ・シィー,1997-04,10,4,27-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262178410193792,