著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 武野 泰彦,CMP産業の現状と展望,月刊トライボロジー,09146121,東京 : 新樹社,2001-07,15,7,17-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262179702713216,