著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,製造装置編,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2001-11,[40],-,59-208,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262179886390912,