著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
UC標準化委員会CR部会,UC標準規格 超純水用配管材料の溶出試験方法,Ultra clean technology,09170367,東京 : 半導体基盤技術研究会,1996-12,8,5・6,346-363,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262179913966848,