著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山口 徹 and 山口 浩司,16nm技術ノードへ向けたブロック共重合体リソグラフィ,NTT技術ジャーナル,09152318,東京 : 電気通信協会,2007-02,19,2,9-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262179965260160,