Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
西川 正巳,"マルチガス,マルチレンジ対応マスフローコントローラSEC-Z500シリーズ",Readout : Horiba technical reports,09159916,京都 : 堀場製作所,2004-03,,28,8-11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262179993199232,