著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,全冊特集 半導体製造装置の新しいコンセプト,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2004-03,43,3,9-96,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262180448754048,