著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
坂井 信支 and 内海 裕一 and 服部 正,超高感度厚膜レジストの新規開発,日本設備管理学会誌 = Journal of the Society of Plant Engineers Japan,09155023,名古屋 : 日本設備管理学会,2004-05,16,1,15-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262180565676672,