著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 あるべき半導体産業資源回生--薬品関連,Ultra clean technology,09170367,東京 : 半導体基盤技術研究会,1999-08,11,4,235-254,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262180641992576,