著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 齊藤 健 and 金子 美泉 and 内木場 文男,MEMSプロセスで実現する自ら発電して移動するスマートなIoTデバイス,化學工業,04512014,東京 : 小峰工業出版,2018-09,69,9,660-665,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262180696135168,