著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 土居 雅春,半導体プラント用ステンレス鋼超高純クリーンチューブ,新日鉄技報,09167609,東京 : 新日本製鐵技術開発本部,1997-02,,362,11-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262180709274240,