著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置,映像情報industrial,13461362,東京 : 産業開発機構,2006-12,38,13,40-55,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262180973803136,