著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) Peter Singer,Si貫通ビア--量産準備は完了,Semiconductor international. 日本版,13496425,東京 : リード・ビジネス・インフォメーション,2008-05,5,5,16-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522262181014069504,