著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 半導体プロセスを支える製造・試験装置と材料,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2010-05,49,5,17-61,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543653365069952,