著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
辻村 学,CMP/Low-kインテグレーション技術の最新動向,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2008-05,47,5,18-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543654769074816,