小特集 極薄シリコン酸化膜の進展
書誌事項
- タイトル別名
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- ショウトクシュウ ゴクウス シリコン サンカ マク ノ シンテン
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収録刊行物
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- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
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真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 44 (8), 695-725, 2001-08
東京 : 日本真空協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543654911202176
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- NII論文ID
- 40001884393
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 5905382
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles