著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 三保谷 博 and 大牧 信一,ワイド入力低アークエネルギー20kWスパッタ用DC電源,オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal,18833861,東京 : オリジン電気,2012-10,,75,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655069339136,