著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
北畠 真,SiC単結晶ウエハーの統合評価プラットフォーム,工業材料 = Engineering materials,04522834,東京 : 日刊工業新聞社,2014-03,62,3,28-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655079465728,