著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮嶋 基守,最近のCMPによる多層配線技術動向,月刊トライボロジー,09146121,東京 : 新樹社,2001-07,15,7,20-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655123756928,