著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松本 功,第1回原子層エピタキシー国際シンポジウム報告,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,1990-09,33,9,p755-757,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655238816128,