著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 石綿 宏 and 大島 雅志,"液浸露光がどこまで量産に貢献し,定着していくかが今年のチャレンジ--エーエスエムエル・ジャパン 代表取締役社長 石綿宏氏",電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2007-08,46,8,22-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655504688896,