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木内 正人 and 松谷 貴臣 and 竹内 孝江,ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法,イオン注入表層処理シンポジウム予稿集,09171460,和光 : イオン注入表層処理研究会,2001-11-30,,17,15-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655726384256,