Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 田原 弘一 and 森山 正浩,電磁加速プラズマを用いた窒化珪素の高速成膜,高温学会誌 = Journal of High Temperature Society,03871096,大阪 : 高温学会,2005,31,1,76-80,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655765463296,