Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 鎌塚 裕司,特殊ガス供給システム,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2001-11,[40],-,204-208,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655852262400,