DLC成膜の実際と最近の応用例

書誌事項

タイトル別名
  • DLCセイマク ノ ジッサイ ト サイキン ノ オウヨウレイ
  • 特集 DLC(ダイヤモンドライクカーボン)--sp[2]-sp[3]構造の特性と応用
  • トクシュウ DLC ダイヤモンドライクカーボン sp 2 sp 3 コウゾウ ノ トクセイ ト オウヨウ

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