著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
神田 忠 and 藤原 俊幸 and 高石 和成,450mmウェーハに関する一考察,Semiconductor international. 日本版,13496425,東京 : リード・ビジネス・インフォメーション,2008-12,5,12,47-52,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543655995063808,