著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鶴見 大輔 and 浜田 耕太郎,SEMを用いた半導体キャリア分布の観察技術,住友電工テクニカルレビュー = Technical review : 住友電工グループ技術論文誌,13434330,大阪 : 住友電気工業,2013-07,,183,149-154,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522543656089100544,