著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中村 健一 and 三保谷 博,スパッタ電源用アーク遮断装置(パルス発生器)「GEXUS-P30」,オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal,18833861,東京 : オリジン電気,2010-10,,73,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825129691368192,