Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
坂井 文樹,STM/AMF装置開発の現状と課題,表面,0367648X,東京 : 広信社,1993-01,31,1,p65-72,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825129731674752,