著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中山 勝矢,電子技術者のための真空技術 基礎から超高真空蒸着技術まで-4-,電子工業,04170334,東京 : 小峰電子工業,1964-04,13,5,????,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825129735818112,