著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 ウェーハ検査・測定・評価,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2010-12,,201,80-82,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825129807005184,