著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中村 昇 and 中河原 均,プラズマガンを用いたPDP用MgO薄膜形成装置,アネルバ技報,13422979,府中 (東京都) : アネルバ,2005,11,,15-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825129831292672,