著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大空 弘樹,TFT液晶用スパッタリング装置の変貌と発展,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2006-07,45,7,26-29,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825129841451008,