著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 化合物半導体の製造技術とデバイスへの応用,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2009-11,48,11,17-59,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825130368550912,