Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
林 英行,液浸のダブルパターニングに対応した露光装置用光源,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2008-03,47,3,40-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825130511112448,