著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
福世 秀秋 and 矢作 政隆 and 鈴木 了,スパッタリングターゲットの製造技術,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2008-09,47,9,18-24,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825130550019328,