著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 東北経済産業局情報製造産業課,東北地域の半導体等製造装置関連産業の競争力強化に向けて(後編),東北21 : 東北経済産業情報,13463950,仙台 : 経済産業調査会東北支局,2007-07,50,4,46-49,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825130637339136,