著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
服部 研作 and 平松 真悟,静電チャック用誘電体材料,耐火材料 = Refractory material : Krosaki Harima technical report,04945549,北九州 : 黒崎播磨,2020,,168,60-66,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825130912028928,