著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Keilh A. Cooper and Thomas Huelsmann,ウェーハ両面のオーバーレイ自動測定技術,Semiconductor international. 日本版,13496425,東京 : リード・ビジネス・インフォメーション,2008-01,5,1,34-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1522825130964492288,