著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
英 崇夫 and 日下 一也,TiNおよびTiAlN薄膜の応力のX線的評価,リガクジャーナル,13492209,昭島 : リガク,2004-10,35,2,20-27,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106604556345984,