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中矢 敦史 and 芝田 武士,走行装置レス・コンパクトアーム「NTS/TTSシリーズ」 : 標準化による半導体製造装置への簡単導入,川崎重工技報 = Technical review,03877906,明石 : 川崎重工業技術開発本部,2017-08,,178,38-41,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106604792253184,