著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,FOCAL POINT EUVLの開発は線幅32nmの量産時期に間に合うのか?,Optronics : 光技術コーディネートジャーナル,02869659,東京 : オプトロニクス社,2007-07,26,7,117-120,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106604799602176,