著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
片西 章浩,膜厚測定システムについて--全自動分光エリプソメータ,計測技術,03859886,東京 : 日本工業出版,2007-12,35,13,34-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106605022134144,